G3旋轉(zhuǎn)型涂布機(jī)的系列操作使用優(yōu)點(diǎn)及功能特色
G3旋轉(zhuǎn)型涂布機(jī)的系列標(biāo)準(zhǔn)操作精度和編程的靈活性,它是設(shè)計(jì)來(lái)提供一個(gè)高層次的旋轉(zhuǎn)精度和重復(fù)性,以及^的加減速控制。其結(jié)果是,結(jié)合的選擇與績(jī)效水平提供信心的每一涂層專用實(shí)驗(yàn)室要求旋涂液。
用三種不同的類型大小,旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)特點(diǎn)緊湊,一般在大多數(shù)的SCS-G3使用時(shí)都便于使用時(shí)??删幊绦D(zhuǎn)涂布機(jī)有一個(gè)可選的集成分配臂,可選排氣適配器,并裝有控制可選的分配單元的電磁操作。SCS自旋涂布機(jī)是理想的應(yīng)用光刻膠、聚酰亞胺、金屬有機(jī)物、雜質(zhì)和平面的基板上的二氧化硅薄膜。
功能特色:
可編程和不可編程(八英寸只)選項(xiàng),由微機(jī)控制裝置簡(jiǎn)單編程,前面的平板液晶顯示器和鍵盤(pán),接近^的調(diào)速回路伺服電機(jī),通信端口使用編程,可選的PC接口軟件外部控制文件存儲(chǔ)、PID控制、診斷、真空開(kāi)關(guān)、慢速度居中,可編程的宮位。可編程模型可以存儲(chǔ)和執(zhí)行計(jì)劃,有多達(dá)無(wú)限/可選的軟件,自旋分布在1轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)的增量調(diào)整,0.1秒的時(shí)間增量,增量為1秒的停留時(shí)間。從周期到周期^的可重復(fù)性,編碼器允許真空吸盤(pán)是停在一個(gè)可編程模型的,耐化學(xué)性的聚四氟乙烯涂層整體遺漏,鉸鏈,鎖在所有模型覆蓋,可編程模型的安全。
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