各種各樣晶圓級涂布機涂裝方法開發(fā)
信息來源: | 發(fā)布日期:
2016-09-20
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關(guān)鍵詞:晶圓級涂布機涂裝開發(fā)
隨著技術(shù)的不斷向前發(fā)展,各種各樣的晶圓級涂裝方法已被開發(fā),其中包括薄膜再分配和碰撞、封裝、柔性互連,晶圓級底部填充,使用通過晶片的通孔,晶圓減薄、涂布機機器械整合這些新結(jié)構(gòu)的能力。通過改進的集成方法的需求驅(qū)動,可靠性和性能,創(chuàng)新的解決方案正在探索研究。一些具有挑戰(zhàn)性的領(lǐng)域包括:薄晶圓加工、小型化、問題遲滯,減少互連的疲勞、熱穩(wěn)定性和絕緣提供易于集成和環(huán)境影響CVD聚合物形成整體保護。
本文介紹潛在應(yīng)用的特點(既作為結(jié)構(gòu)材料和涂層的應(yīng)用)高溫氣相聚合物(熱穩(wěn)定達350°C和市售的聚對二甲苯)晶圓級封裝技術(shù)。通過比較和實例,它突出了一個相對較新的,符合RoHS指令標準的一些關(guān)鍵屬性,無素(每iec-60754-2)成分多為其所用的聚合物。在納米和微觀尺度的形成,聚對二甲苯提供的解決方案在晶圓級封裝技術(shù),包括可靠性和惡劣和腐蝕性環(huán)境保護存在的諸多挑戰(zhàn)。
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